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用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　专利号：ZL01144580.7
　　阵列式集成电路光刻扫描装置用的线阵光源属于扫描光学头技术领域，其特征在于它含有：在同一线阵长度内依次排列着的下列元件：n个出射光强均匀的半导体激光器，n个分别会聚该激光器出射光的会聚透镜，n束分别接收上述透镜出射光的每束共有m根光纤的光导纤维，m个由分别来自各个光纤束的n根光纤排列成直线的线阵光纤头和每个线阵光纤头对应的成像透镜。M和n可以相...
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