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接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一种接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器属接触式MEMS开关器件测试技术领域，该方法利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极，在该开关正常，即第一、二接触点间有开关动作时，计数器计数连续方波脉冲信号的脉冲个数，直至该开关疲劳失效，即第一、二接触点间无开关动作时，计数器停止计数，显示器显示的数字就是该被测开关的寿命指标，该仪器由方波发生器、脉冲幅度转换器、测试架、开关动作监视...
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