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等离子体源离子注入用100kV高压脉冲刚性调制器

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　利用等离子体技术对材料表面进行改性，已被广泛应用。要使等离子体表面技术获得最佳的工艺效果，高压脉冲刚性调制器的性能的优劣是关键。对于不同的工艺要求，调制器要能提供不同的能量及功率输出，以获得工艺要求所规定的注入深度和满足注入离子及其激发的二次电子构成的较大的脉冲电流。在脉冲宽度一定时，脉冲电压前沿越陡，离子注入效果越好。一般地我们都要求脉冲刚性调制器有较好的脉冲电压输出和优良的负载匹配能力，以...
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