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分子束外延设备

2007年 应用技术
  • 成果简介
应用于研究和确定晶体生长机理及开展表面物理研究，并可生长各种半导体材料。可精确控制外延薄膜的厚度，成分和掺杂浓度，外延生长时可做原位分析与检测，实现原子尺度的外延生长。...
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