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MOCVD设备

2007年

应用技术

成果简介

MOCVD设备作为化合物半导体材料研究和生产的手段，特别是作为工业化生产的设备，它是别的半导体设备无法替代的。它的高质量、稳定性、重复性及多功能性越来越为人们所重视。它是当今世界上生产半导体光电器件和微波器件材料的主要手段，如激光器、发光二极管、高效太阳能电池、光电阴极等，是光电子等产业不可缺少的设备。
西安光机所在MOCVD设备研制方面处于国内领先水平。拥有十几年的M...

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