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14.5GHz全永磁ECR源

2007年 应用技术
  • 成果简介
高电荷态ECR离子源是当前国际上产生连续高电荷态离子束的最有效装置,具有稳定运行周期长、工作重复性好,输出离子束流发射度低等优点,14.5GHz 全永磁ECR离子源体积小、造价低适用于各种重离子加速器,单独为原子物理及表面物理实验提供束流,在离子注入、离子刻蚀、薄膜技术、辐照育种、材料表面改性、离子束沉积等工农业、医学与科研领域有着广泛的应用。...
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