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微机械惯性仪表

2003年 应用技术
  • 成果简介
微机械惯性仪表是采用微加工工艺在单晶硅片上制造出来的微机械与微电子的集成系统。这类仪表包括微机械加速度计、微机械陀螺仪以及微型惯性测量组合。它们的工作原理仍然是经典力学中的牛顿定律,但是与其它惯性仪表相比较,具有无可比拟的一系列优点,如体积小、重量轻、可靠性高、易集成、能大批量生产、价格低廉等。微机械惯性仪表的功能是测量运动物体(如车辆、飞机、导弹、舰艇、人造卫星等)的质心运动和姿态运动(共6个自...
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