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接近式光刻机

2002年

应用技术

成果简介

接近式光刻机是该项目专门设计用于电力电子器件和薄膜电器生产的。电力电子器件(PSD)和薄膜电子器件(TFD)在中国家目前发展很快，而且经济效益比集成电路好得多，前者对节约能源，后者对提高控制系统的可靠性都起着十分关键的作用。PSD和TFD的芯片有一个共同特点，图形结构面积和最小特征尺寸都是特别大，因此借用集成电路光刻机与其说不好用，不如说根本就不能用。这样势必严重影响技术与质量的进一步提高，因此迫...

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