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纳米测长仪的研制

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该课题的研究成功表明长度通用量具已经提高到了纳米量级，并且从静态人工读数发展到数字化自动显示。该课题成果LG-0001纳米侧长仪数显分辨率达到1纳米，测量重复性(标准偏差)0.8纳米-1.2纳米，在未做误差修正的前提下，在10毫米测量范围内示值误差优于±0.06微米，在纳米光栅的制造与检测、纳米光栅的信号读取、光电信号的高质量处理和超精结构的改进提高四个方面具有一定的独创性。达到国际领先水平。...
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