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键合金丝大生产技术

2005年 应用技术
  • 成果简介
一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：1.成果内容简介：该成果解决了2-3微米技术集成电路使用的，适应高速、高温高速健合机的C型、FA型键合金丝的大生产技术。主要研究成果是：(l)通过研究微量添加元素对金丝性能的影响，找到了作用良好的微量添加元素，确定了性能良好的C型、FA型金丝的成分配方。(2)完成了高纯金原料制造工艺的研究(5N金提纯工艺)，完成了金丝中微量元素及杂质的分析方法研究，并将该...
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