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EGR等离子体镀膜实验装置研制和纳米薄膜制备

2004年 应用技术
  • 成果简介
该装置用微波电子回旋共振(ECR)在低气压下产生高密度的等离子体，可进行溅射沉积来制备薄膜。此为国内首创，达到八十年代中期国际先进水平。用该装置在室温基片上沉积已制备成功钛、金、氮化钛等钠米晶粒结构的薄膜以及高温超导陶瓷膜和金属非晶态膜。装置研制和镀膜结果可能开拓出技术经济的广阔应用前景。...
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