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用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统

2003年 应用技术
  • 成果简介
该用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统具有恒温腔。恒温腔由冷热驱动器控制。在恒温腔内设有导轨，导轨两侧设有驱动绕组，下端设有悬浮磁钢。在导轨上设有驱动装置，在驱动装置两侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢。在驱动装置下端设有与导轨下端的悬浮磁钢相对应的永磁体、励磁线圈、磁极铁心。在驱动装置两侧还设有力传感器，上端设有温度传感器，在导轨下端设有温度传感器。该系统的优点是：1.在动静态摩擦...
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