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纳米精度位移与振动干涉测量装置

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种纳米精度位移与振动干涉测量装置，包括波长不相同的带有第一驱动电源和温度控制器的光源，调整光路准直用的准直光源和使被测物体产生振动的激振光源。光束传送的全光程都是在光纤、合波元件和光纤耦合器中进行。有两个光电转换元件响应波段只是对应光源发射光束的波段，对准直光源和激振光源发射的光束不反应。在第一驱动电源和模数转换器之间连接有控制初始相位的相位控制器。与在先技术相比，本实用新型具有结构紧凑...
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