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MOCVD装置

2002年

应用技术

成果简介

中国科学院西安光机所半导体光电器件研究室，有高中级职称人员十余名，在候洵院士和博士生导师高鸿楷的带领下，主要从事半导体光电器件方面的研究工作。该实验室有大中型仪器设备数台，其中，MOCVD装置为西安光机所半导体光电器件研究室自主开发研制的中国第一台应用于半导体薄膜材料生长领域的高技术设备。在整个西北地区，该类设备也就仅此一台。该设备主要用于生长多种Ⅲ-V族半导体材料，特别适用于异质结构和超晶格量子...

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