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低维材料-铁电薄膜的研制

2002年 应用技术
  • 成果简介
利用溶胶凝胶法在单晶硅片上，制备出了组织均匀致密的钛酸钡薄膜，通过原材料的优化，使钛酸钡薄膜的形成温度比目前常用的原料降低约200℃，不仅缩短了薄膜的制备周期，而且使基片的选择范围大大拓宽，该研究制备的薄膜厚度约为0.15μm，折射率为1.9，在10kHz的测试频率下，ε=40，tanδ=0.13。...
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