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高温超导薄膜和结技术

2001年

应用技术

成果简介

高温超导薄膜是制备超导电子学器件的关键。目前，中国已掌握了薄膜用单晶基片生长与加工的先进工艺；完成了激光分子束外延大型设备的研制；能制备约5cm直径的YBaCuO双面膜，膜的Tc＞90K，Jc＞106A/cm^2(77K，0T)，Rs＜1mw(77K，10GHz)；也能制备高性能的T1系Hg系超导薄膜。由超导薄膜制成的弱连接结（如双晶结、台阶结和边缘结等）是超导电子学器件的核心部件。目前，中国已掌...

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