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千兆赫场声表面波器件批量生产技术

2001年 应用技术
  • 成果简介
该成果开发了频率在线控制；铝膜均匀性控制；器件设计预补偿技术，完成了最小分辨率尺寸0.6μm的压电基片电极图形制作技术与1μm声表面波器件3英寸批量生产技术开发。该成果整体生产技术水平居国内领先，批量生产的ND系列金属外壳封存装器件，性能达到国外同类器件水平，产品规范与国外产品相当。...
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