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纳米金属多层膜的制膜设备及技术

2000年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　1．单层厚为纳米尺度的多层膜的制备是一项国际前沿技术。其装备和工艺皆非唾手可得。例如，1988年发现的纳米金属多层膜中的巨磁电阻效应。经过10年努力，已令计算机硬盘存储密度提高了一百倍。其中关键技术就是纳米多层膜的制备。“八五”期间我们选此课题开展了预研，获得初步的成功。在中科院计财局装备处立项资助下，新一代“纳米金属多层膜磁控溅射设备”通过验收。几年来，我们相关的“纳米多层膜制备技术”日臻完...
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