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电容薄膜真空计

2000年 应用技术
  • 成果简介
该真空计的传感器属于电容式传感器，其敏感元件是一片呈径向性辐射拉伸应力状态的金属薄膜，该薄膜将外压力测量腔与参考腔隔开，当外压力测量腔的压力与参考腔之间产生压差时，金属膜产生弯曲变形，改变了装在封闭参考腔内二个平板电容间的相对电容△C。该电容信号由平衡电桥测量，电容变化导致桥路的不平衡，从而产生一个振幅正比于所加压力的电压信号，电压信号通过交流放大、相敏检波、直流放大，然后读数显示。该真空计具有与...
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