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TAB_2导电陶瓷材料及制品

2000年

应用技术

成果简介

TiB_2基导电陶瓷蒸发舟是真空蒸镀领域的一个关键易耗部件，可用于真空镀铝、多层膜电容器蒸镀及显像管金属化等方面。TiB_2基导电陶瓷蒸发舟生产工艺有两种，即反应烧结法和直接烧结法。反应烧结法是以Ti和BN为原料通过两者在热压烧结过程中相互反应形成TiB_2和BN的复合材料。该种工艺起步于七十年代初，其主要缺点在于合成物相的组成难于控制。因此，产品成品率低、电导率不稳定、耐金属熔蚀性差、使用寿命短...

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