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磁悬浮规高真空比对标准装置

2002年

应用技术

成果简介

比对校准采用直接比对的原理，将被检真空计与标准真空计同时接到标准装置的校准室上，同时读取被检真空计与标准真空计的读数，从而给出据修正或校准曲线。现已建成的校准装置选用的标准真空计是美国MKS公司生产的SRG-2CE型磁悬浮真空计；校准装置的校准室为φ350mm的球形容器，在校准室球的赤道圈上均布了五个真空规接口，保证了校准室内真空压力的均匀性；真空系统的主抽气泵为启动迅速的φ150分子泵，另配备了...

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