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M8611-1/UM型液相外延系统

2000年 应用技术
  • 成果简介
该系统的特点是：自动化程度高：整个工艺过程由计算机控制，包括随工艺时间变化的反应室的真空度、气氛、温度、衬底的位置等。工艺操作由计算机指挥机械手完成：机械手运动、定位精度高，均小于0.1mm；运动，采用了直线滚动导轨副；传动，采用了精 密滚珠丝杠副加编码器；定位，采用气闸；片盒对液槽定位达到了±0.02mm，并能高精度重复。炉温稳定、重复性好：恒温精度优于±0.5℃；反应室温度采用内外热偶串级控制...
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