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金属薄膜的屈服强度和微结构研究

2005年 基础理论
  • 成果简介
金属薄膜广泛用于集成电路、数据存贮器等器件中，薄膜的物理、化学和力学性能直接影响这些器件的使用性能和可靠性。薄膜的性能又与其微观结构（包括：缺陷类型和密度、晶粒尺寸及其分布、择优取向或织构）密切相关。但传统的用于整体材料的一些理论（如屈服强度和晶粒生长理论）已表现出一定的局限性或不足。在国家自然科学基金的资助下，本项研究针对当前材料科学与工程研究领域这一前沿热点问题进行了深入细致的研究，取...
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