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INP晶片研制

2000年

应用技术

成果简介

InP是新一代半导体功能材料，该研究从InP晶体开始，根据单晶外形，寻找<100>晶向；通过和专用夹具；切出<100>晶向晶片，确定参考面位置，通过割圆、倒角保证等径控制及主次参考面精度。经过研磨、化抛、抛光等工艺控制，研制出InP单晶抛光片，并形成了独特的工艺技术。研制出的产品指标达到国际90年代中期水平。...

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