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双频双坐标激光测量系统的研制

1998年 应用技术
  • 成果简介
双频双坐标激光测量系统是为亚微米超精密机床测控系统研制的，测量系统全部采用国产元件，系统组成包括由双频激光器、光学元件、光电接收器组成的一次信号处理系统；数据采集及处理的专用微机系统；用于修正波长变化的空气参数补偿系统和GPIB数据通讯并行接口等四部分。该在线测量系统可随时测量主轴的Z向位和刀 架Y向位移，输出可直接读出Z、X向的位移值，也可反馈给机床的精密数控系统，组成双坐 标闭环精密数控系统。...
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