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CY系列压力传感器注油芯体

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　注油芯体压力传感器是将压力传感器芯片粘接到芯座上，通过键合引线、充硅油、焊金属隔离膜片做成防腐蚀压力传感器芯体，然后通过厚膜工艺和激光调阻进行温度补偿并制成陶瓷板焊接到芯体后端，实现对注油芯体传感器的零点温度补偿、灵敏度温度补偿以及零位输出信号的校正，达到高性能高可靠产品。
　　产品技术指标：
　　量程 0～20KPa……60MPa
　　非线性 0.1～0....
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