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化学气相沉积两步法制备大面积硼化镁超导薄膜工艺

2006年 基础理论
  • 成果简介
贵州大学超导研究小组以硼化镁超导薄膜的制备工艺为研究对象，形成了一些具有自主知识产权的研究结果：
(1).设计和建立起辐射加热、高频感应加热、低压电阻加热三套超导薄膜制备实验系统。
(2).在最先采用乙硼烷气体作为制备硼先驱膜的材料，以化学气相沉积（CVD）方法，在多晶和单晶氧化铝衬底上制备出性能较为优良的超导薄膜，开创了低成本制备超导薄膜的...
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