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纳弧度分辨率角位移干涉测量仪

2006年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目研发的纳弧度分辨率角位移干涉测量仪具有自主知识产权。在环境监测、化学、生物、医学、药物、微加工、微制造、微纳米机械等领域有着很好的应用前景。
本项目在国际上首次提出并研究的纳米级步长光栅线扫描与性状分析技术为高密度光栅的无损检测提供了一种重要手段。
纳米级驱动控制定位技术被认为是纳米技术的核心技术之一，本项目研发的多自由度纳米级精密定位技术在光...

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