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基于凝胶造粒的硅片纳米磨抛片制备新技术

2006年 应用技术
  • 成果简介
针对大尺寸硅片磨抛用金刚石磨片中存在的超细磨料团聚问题，提出一项基于化学凝胶原理的磨抛片制备新技术。首先将含有金刚石超细微粉的藻酸钠盐溶液滴到含有Ca^(2+)的溶液中制备金刚石凝胶球，然后将凝胶球粘结起来制备成磨抛片，从而解决超细磨料的团聚难题。本项目已申请国家专利，专利申请号为：CN200410041972.1。
技术特点、技术指标及先进性：
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