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大功率GTR模块研究－方型芯片关键工艺技术研究

1997年

应用技术

成果简介

　　大功率晶体管（GTR）是三极自关断电半导体器件，目前在交直流调速、电机振动、逆变及不停电电源等电力电子装置上应用最为广泛，最为成熟。GTR方型芯片是GTR器件及模块的核心。在研制GTR方型芯片首创临界集电区宽度设计及二步磨蚀高压隔离终端技术，不单使GTR方芯特性全面优于合同指标与国外当前同类产品相当，节省投资数千万元，并且从根本上解决了50A以上SCR、SR、SRD等多种方片制造产量，成品率及...

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