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SY型6kW及SY型系列射频功率源

1997年

应用技术

成果简介

　　该系列射频功率源是等离子体设备的配套电源，采用国际上通用的模式及频率，电路设计合理、功率稳定，是理想的射频电源。在射频源的研制过程中解决了大功率管帘栅供电、射频大功率的测量和防止辐射场泄漏等高难度技术问题，并做到大功率下泄漏辐射场强降到远低于国家标准。它的设计、部件和主要性能参数达到目前国际同类产品的先进水平；该系列电源近百台已被数十家用户用于与等离子设备配套，证明性能良好、稳定可靠。...

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