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辐射型多功能薄膜自动沉积系统

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
研制辐射型多功能薄膜自动沉积系统，建立国际一流水平的新型硅基薄膜研究平台，是南开大学承担的国际合作项目“新型硅基薄膜太阳电池大面积低成本技术研究-2002DFG00051”、国家“973”项目《低价、长寿命新型光伏电池的基础研究》02课题和03课题中的主要研究内容之一。
辐射型硅基薄膜高速沉积系统为新一代非标CVD设备，该系统兼有故障率低和线列式无交叉污染的优点，并克服...
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