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MJ-09金属膜片截止阀

1994年 应用技术
  • 成果简介
该金属膜片阀是一种结构简单、独特新颖的新型阀。其通径已达国内现有金属膜片阀的4倍。该阀特别适用于高压、真空、高、低温耐蚀等工况下,对超纯气体和电子气体具有独特的使用价值,已获国家实用新型专利。该阀的主要技术指标有:公称通径为15mm;工作压力范围1.33×10的负二次方Pa~15mPa;使用温度范围为-96~120℃;漏气速率1.33×10的负七次方Pa·L/s。...
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