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亚微米微位移工作台设计理论与方法的研究

1993年 应用技术
  • 成果简介
　　该成果归纳出实现亚微米级定位精度微动工作台的设计方法、特点、精度及应用范围，给出了柔性铰链转角刚度公式及二维微动工作台的设计方法。利用上述理论设计并研制出在同一平面内实现X－Y两维单层弹性微动工作台。该微动工作台达到：位移分辨率为0.01微米，定位精度为0.03微米，重复定位精度为0.03微米，行程大于10微米。该成果从理论和实践两个方面提供了实现亚微米精度的各种方法和系统。...
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