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环境与医学检测用氧化物半导体薄膜型传感器

2001年 应用技术
  • 成果简介
项目研究的背景及用途：随着社会经济和人民生活的提高，我们对环境，安全和健康的关注日益密切。全面发展社会生产过程中应用到的和产生的低浓度气体愈来愈广泛，这些气体或者是提高生产效益的关键因素，或者是安全生产的极大隐患，或者可以作为表征系统进行情况的特征信息。所以可以有效方便的监测和控制这些特定浓度气体的传感器是迫切需要发展的。氧化物半导体薄膜型传感器，由于其灵敏度高，响应快、体积小、能耗与成本...
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