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用于生成氧化锌薄膜的钨酸锌单晶衬底的制备方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
用于生成氧化锌薄膜的钨酸锌单晶衬底的制备方法涉及半导体发光材料的制备工艺。寻找适宜的衬底材料成为制备高质量ZnO薄膜的关键。现有衬底材料为玻璃、硅单晶、白宝石、石英、氧化锌陶瓷基片和ScAlMgO_4(0001)，或因晶格失配率高，或因成分相差太大，造成薄膜晶体结构缺陷大量存在。
本发明特征在于，它包括以下步骤：生长出位错密度低于400/cm^2钨酸锌单晶；将上述钨酸锌...
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