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超声雾化热分解法制备钇系高温超导长带的装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
超声雾化热分解法制备钇系高温超导长带的装置属于超导材料技术领域，包括有输入气体到质量流量控制仪的氩气瓶、氧气瓶，从质量流量控制仪输出气体到沉积室、雾化室，与雾化室相连的超声源，固定在沉积室上的移动部件，驱动移动部件的电机，与沉积室连接的控温仪，与质量流量控制仪连接的流量显示仪。其特征在于利用了通用超声波加湿器电控部件组成超声源，雾化室固定在超声源的机壳上方，雾化室载气入口方向为其侧壁的切线...
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