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硅谐振梁式压力微传感器

2006年 应用技术
  • 成果简介
硅谐振梁式压力微传感器是一项跨世纪的关键技术。从目前国内外微传感器发展趋势看，最具特色和综合技术优势的是硅谐振式微传感器，这主要是由于其输出为频率量，易于与计算机接口，基体材料为力学性能极佳的硅，并便于微细加工和集成，它是当今世界上水平最高、技术最先进的微传感器，硅谐振梁式压力微传感器研制成功，将为微型飞行器（微型卫星和微型飞机等）研制提供先进的最佳选择的传感器技术，由于这种传感器是频率量...
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