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力敏传感器专用工艺装备开发

2004年 应用技术
  • 成果简介
该项目研究开发了适合4in硅片工艺需要的精密硅膜片腐蚀设备，高精度硅片腐蚀深度测试仪，硅片静电封接设备，传感器保护液充灌设备、精密硅芯片划片设备和芯片性能参数自动测试设备等6台专用工艺设备和仪器。应用这些工艺设备，实现了新型高性能MEMS力敏传感器的自主开发和生产，并推广到国内有关单位，提高了行业的技术水平。
项目的研制解决了如下关键技术：
1、在力...
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