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集成铁电薄膜复合材料及其制冷红外焦平面物理（中科院）

2004年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　本项目研究目标：提高PZT铁电薄膜热释电系数，提高二氧化硅隔热层气孔率达到80%，提高上电报吸收层吸收率到80%，完成Ti-TiO_2/Pt/PZT/LNO/SiO_2/Si复合结构材料的集成，设计一条256×1红外焦平面列阵器件工艺，通过器件流通工艺优化工艺参数，制备256×1铁电薄膜线列焦平面芯片，为铁电薄膜红外焦平面列阵的应用提供科学的指导和参数数据，研制出单片式铁电薄膜红外焦平面列阵芯...

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