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高精度原子力显微镜AFM.IPC-208B型机的研制及应用

2006年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1986年德国科学家G.Binning发明了原子力显微镜（Atomic Force Microscopy-AFM）。AFM是一种新型表面分析仪器，能够在实空间、实时、原位观察与操纵原子，主要应用于纳米物理学、纳米化学、纳米材料学、纳米生物学、纳米电子学、纳米加工学和纳米力学七个分支，是纳米科学技术领域最重要的检测仪器。同年G.Binning获得了诺贝尔物理学奖金。1995年后AFM逐渐形成产业。进...

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