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DS640-5A精密研磨机设计研究

2006年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
超精密制造技术在国际上已经得到广泛应用。如人造卫星用遥测部件、哈勃望远镜(HST)、飞机陀螺仪等；与集成电路(IC)有关的硅片加工（要求硅片的表面粗糙度Ra小于2nm，最高要求达0.1nm）；光刻设备和硅片加工设备的精度要求到亚微米和纳米级；导弹惯性仪表的精度、激光陀螺仪的平面反射镜的精度、红外制导的导弹反射镜等，表面粗糙度均要求达到纳米级。另外，光学非球曲面零件面形制造精度要求已达λ/(...
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