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射频微机械复合腔结构研究及其在谐振器/滤波器中的应用

2006年 基础理论
  • 成果简介
本研究项目受重庆市教育委员会资助。
微机电系统(MEMS)技术已成为国际上备受关注的研究热点。本研究项目涉及的微机械复合腔结构是一种将传统机械结构引入微机电系统的新尝试。在无线通信系统中，存在许多腔结构构成的振荡器、谐振器及滤波器，而传统的相关射频器件存在体积大、笨重而且制造价格昂贵、不能与集成电路兼容等缺点，利用微机械微细加工技术研制应用于射频通信系统的复合腔谐振器/...
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