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电子助进化学气相沉积动力学过程研究

2006年

基础理论

成果简介

该研究采用理论模拟方法对EACVD过程中薄膜的生长机理进行了研究；该工作能够有效地对实验进行辅助指导，从而有助于实现低温、大面积、高质量金刚石薄膜的沉积，以此拓宽金刚石膜的实际应用范围和加快化学气相沉积金刚石薄膜的实用化过程；项目还首次对EACVD中的光发射过程进行了数值模拟，提出了利用氢原子谱线诊断EACVD中的电子平均温度并寻找最佳成膜实验条件的方法；本结果不仅对EACVD动力学过程研...

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