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2.5GHz SiO_2/ZnO/IDT/金刚石膜SAW滤波器的研究

2006年

应用技术

中期阶段

成果简介

成功设计并集成了ZnO/IDT/金刚石的多层膜结构声表面波滤波器，其中心频率相对传统的材料LiNbO_3的SAW表面波滤波器中心频率大大提高。总之，利用金刚石膜独特的优异性能，采用目前半导体工业技术水平，制备叉指换能器(IDTs)线空宽1.7μm，有的样件中心频率可高达2.5GHz，超过日本0.9μm，可以对电极制备的技术要求大大降低，从而解决高频器件的技术难度。...

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