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高速窄线宽可调谐的解复用光接收集成器件及其关键制备工艺

2006年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一、 课题来源与背景
本成果课题来源为国家973计划和国家自然科学基金重大计划等国家级及部市级科研计划，面向波分复用（WDM）光通信系统和智能光网络等重大应用需求。

二、 技术原理及性能指标
本成果的主要技术原理为“一镜斜置三镜腔”结构“子腔间完全解耦”的原理。研制者发明了可控自推移动态掩模湿法刻蚀技术，在GaAs基...
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