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高透明低方阻薄膜柔性基村镀膜技术和设备

2001年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　该项目是多学科交叉的综合性技术，涉及诸多技术原理，主要有
　　1、ITO磁控溅射室温成膜机理；
2、介质-金属-介质和介质-金属-介质-金属-介质光学匹配原理；
3、隧道抽气和气氛软隔离原理；
4、膜厚和膜系组合与透光率的关系等。
该项目技术和总体设计思路具有创新性、先进性、科学性和实用性，膜系设计新颖...
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