“可用于生产高纯度多晶硅的高绝缘氮化硅材料关键技术及应用”通过科技成果评价

2023年9月6日“可用于生产高纯度多晶硅的高绝缘氮化硅材料关键技术及应用”经专家组评估评审，项目整体技术达到国际领先水平。

会议邀请了来自中国科学院、中国科学院过程工程所、中华人民共和国工业和信息化部政策法规司、北京有色金属研究总院超导中心、中国环境监测总站、工信部中小企业协会新技术产业投资委员会 、中国化工集团等专家领导组成评审委员会。经过项目汇报与质询，专家组认为项目针对多晶硅生产用氧化铝绝缘件存在的力学性能低、抗热震性能较差、高温还原性气氛下绝缘强度不够、使用寿命短等不足，严重影响多晶硅生产效率和产品的品质，开发出可替代氧化铝材料的新型氮化硅特种材料制备技术及绝缘件制品，并获得推广应用。【高科新创新闻中心宣】