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新型平面显示用关键超大型高纯靶材的研发与产业化

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　在平面显示面板制造中要使用钼靶和铝靶进行真空溅射镀膜。对6代ULVAC机器来说，其尺寸为2300mm*200mm*16mm（钼靶）和2300mm*200mm*19mm（铝靶），一次8块拼装使用。纯度为：钼靶99.95%‘铝靶99.999%。高质量和高稳定性的要求，使得靶材的应用，在世界上形成了几家垄断的局面。中国目前还没有生产这样的靶材，进入市场。苏晶数名从国外回来的有经验的团队采用传统四种工...
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