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芯片甩干机

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　芯片甩干机是一种能实现多品种兼容的多工位自动清洗甩干及消除静电的设备，是LED芯片制造过程中不可缺少的设备，属于芯片及衬底制作装备领域。目前国内市场上的晶圆片甩干机，均为单品种甩干机，即只能实现单品种或单工位清洗及甩干；为了克服现有甩干机存在的以上问题，本项目产品研制了一种实现多品种兼容的双头多工位自动清洗及甩干的设备。本项目产品已销售至国内30多家LED芯片及衬底企业。...
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